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赵雷; 安俊明; 张家顺; 宋世娇; 吴远大; 胡雄伟;
中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室;
北京100083;
阵列波导光栅(AWG); Si纳米线波导; 电子束光刻(EBL); 感应耦合等离子(ICP)刻蚀;
机译:抑制阵列波导光栅串扰的多通道光子晶体波长滤波器的设计与制作
机译:基于Si纳米线波导的超小重叠阵列波导光栅用于密集波分复用
机译:基于硅纳米线波导的16通道200 GHz阵列波导光栅
机译:低串扰SiO2 / Si阵列波导光栅的设计与制作
机译:用于混合集成的阵列波导光栅的设计和制造
机译:5通道聚合物/二氧化硅混合阵列波导光栅
机译:优化的紧凑型八通道硅阵列波导光栅的实际制作和分析
机译:铌酸锂波导中啁啾光栅透镜的制作与评价
机译:多通道光学收发器模块,包括热阵列波导光栅多路复用器和热阵列波导光栅多路复用器
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