蓝宝石光纤法布里-珀罗高温传感的实验研究

摘要

进行了基于蓝宝石光纤及晶片的光纤法布里-珀罗(F-P)高温传感器研究。理论仿真分析了传感器温度传感灵敏度及干涉光谱信号质量随蓝宝石晶片厚度变化趋势。结果表明,在信噪比(SNR)为30dB、晶片厚为75μm时,可避免干涉光谱信号波峰干涉级次跳变问题,同时获得3.114nm/℃(1 080℃)的温度传感灵敏度。建立了高温传感器系统,并基于干涉光谱相位分析算法进行解调,实现了130~1 080℃测温范围,测温误差小于±2.45℃,1 080℃下温度传感灵敏度测试值为2.973nm/℃,与理论温度传感灵敏度基本吻合。