超声喷雾热解法制备ZnO:Eu薄膜

摘要

以醋酸锌（Zn（CH3COO）2）、氯化铕（EuCl3）水溶液为前驱体,采用超声喷雾热解（USP）方法在ITO导电玻璃衬底上沉积Eu掺杂ZnO（ZnO：Eu）薄膜。通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和光致发光（PL）谱对ZnO：Eu薄膜的形貌、结构和光学性质进行了研究。SEM测试结果表明,超声喷雾热解法制备的ZnO：Eu薄膜为致密的纳米颗粒薄膜,ZnO：Eu晶粒尺寸约在200~250 nm。XRD图谱表明,ZnO：Eu薄膜具有很好的六角纤锌矿结构,且在2θ=47.28°处出现Eu2O3的衍射峰。激发光谱表明,ZnO：Eu薄膜在280、373和393 nm处有较强的紫外吸收。PL谱表明,当用280 nm激发光激发时,ZnO：Eu薄膜在613 nm处具有较强的红光发射。