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王斐; 陈新亮; 耿新华; 黄茜; 张德坤; 孙建; 魏长春; 张晓丹; 赵颖;
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;
光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;
光电信息技术科学教育部重点实验室;
天津300071;
H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜; 磁控溅射; 绒面结构; 梯度H2技术; 薄膜太阳能电池;
机译:调查结构和光学特性通过射频的铜掺杂氧化镍薄膜沉积磁控反应溅射
机译:射频磁控反应溅射沉积铜掺杂NiO薄膜的结构和光学性能研究
机译:室温下通过磁控溅射生长的氢引入的广谱Mg和Ga共掺杂ZnO-TCO薄膜
机译:用于Si基薄膜太阳能电池的纹理表面Al掺杂ZnO-TCOS薄膜通过普通的DC磁控激动溅射
机译:通过直流磁控反应溅射沉积氢化非晶硅过程中生长通量的表征。
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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