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激光驱动气相合成氮化硅超细粉

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＜正＞本文讨论了用CW-CO2激光制备氮化硅超细粉的原理、装置及工艺条件。提出了该过程是热化学过程的依据。一、引言在电子显微镜出现以后,人们才看到粒度小于波长

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来源
《光电子．激光》 |1988年第2期|83-86|共4页
作者
栾松岩; 张国生; 侯方林; 梁唯红; 秦汝虎; 崔正国; 姜春生;
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作者单位

黑龙江省科学院技术物理所;

哈尔滨工业大学应用物理系;

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