固体催化剂的研究方法rn第九章 表面分析方法(中)

摘要

@@2 俄歇电子能谱rn 1925年俄歇首次发现俄歇电子,并以他的名字命名。20世纪50年代有人首次用电子作激发源,进行表面分析,并从样品背散射电子能量分布中辨认出俄歇谱线。但是由于俄歇信号强度低,探测困难,因此在相当长时期未能得到实际应用。直至1967年采用电子能量微分技术,解决了把微弱的俄歇信号从很大的背景和噪声中检测出来,才使俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy,AES)成为一种实用的表面分析方法。1969年使用筒镜分析器(Cylindrial Mirror Analyser,CMA)后,较大幅度地提高了分辨率、灵敏度和分析速度[69],AES的应用日益扩大。到了70年代,扫描俄歇微探针(Scanning Auger Microprobe,SAM)问世,俄歇电子能谱学逐渐发展成为表面微区分析的重要技术。尔后,采用高亮度电子源、先进电子光学系统、各类能量分析器、包括半球形能量分析器(Hemispherical Analyser,HSA)以及新型检测系统,加之计算机控制及数据处理能力的扩大与提高,使AES的应用扩大到许多重要的科学领域,包括固体催化这一重要应用领域。