PIN结构自扫描光电二极管列阵的研究

摘要

通过对再充电采样方式的自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＡ）工作原理分析，对列阵中光电二极管工作模式进行较深入的探讨，指出影响其性能的主要因素。提出了用ＰＩＮ结构代替常用的ＰＮ结结构的光电二极管组成ＳＳＰＡ。经过ＰＩＮ结构和ＭＯＳ电路兼容工艺方案的分析及实验，测试结果表明ＰＩＮ结构有利于改进ＳＳＰＡ的性能，是研究高性能ＳＳＰＡ的新结构。