公开/公告号DE10215414A1
专利类型
公开/公告日2003-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 IPAG - INNOVATIVE PROCESSING AG;
申请/专利号DE20021015414
发明设计人 JANSSEN GUIDO;BERTENBURG RALF M.;AGETHEN MICHAEL;KEIPER DIETMAR;BRENNEMANN ANDREAS;VELLING PETER;
申请日2002-04-08
分类号H01L31/105;H01L31/075;H01L31/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 23:42:04