采用法布里-珀罗腔的绝对距离干涉系统的方案分析

摘要

论述了线性调频绝对距离干涉测量方案的基本原理以及拍频测量中存在的问题；分析表明，在激光器调频范围确定的情况下，可以通过测量起点与终点拍频信号相位差的方法，实现10-5的相对测量精度；简述了采用F-P腔实现高精度频率基准的方法，并给出了测量系统的原理图。