MEMS多层压印工艺中的视频图像对准系统

摘要

针对基于微压印成形三维MEMS器件制造工艺多层压印的需要,开发了一套基于视频图像对正原理的压印光刻对准系统.硬件系统以显微镜头、CCD、图像采集卡和精密工作台为核心组成.为了使系统能适应不同厚度器件的对准,设计了长工作距离的显微镜头并使用透明模板.软件中采用亚像素相关模板匹配算法进行定位运算,算法误差小于0.2μm.通过采用选择有效区域和粗-细搜索法的策略对算法进行优化,提高了运算效率.系统性能实验分析表明,系统分辨精度达到0.2μm,能够满足2μm的对准精度要求.