反射镜平动式光栅光调制器光学分析与仿真

摘要

提出一种基于MEMS的光栅光调制器,可用于投影显示等相关领域.介绍了其结构、工作原理及其加工流程,对器件进行傅里叶光学分析.分析得出,器件单像素在±1级对比度和光学衍射效率最大值分别为1225和51.4%,形成阵列后理论上最大值分别为无穷大和81%.采用Coventor软件进行光学仿真,得到器件实际情况下衍射花样,器件由于残余应力以及器件下拉时静电力作用产生翘曲变形,光学性能有所降低.