集成光学陀螺环形谐振腔的优化设计与制备

摘要

利用广角有限差分光束传播法(WA-BPM)对集成光学陀螺(10G)用掺锗的二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计,详细分析了谐振腔的主要性能参数精细度F与各种损耗及光强耦合系数的关系. 在优化设计基础上,在硅基底上利用等离子体增强型化学汽相沉积(PECVD)法与反应离子刻蚀(RIE)制作了掺锗的SiO2光波导环形谐振腔.经测试,在1 550 nm波长处,光波导传输损耗为0.02 dB/cm,环形谐振腔内总传输损耗仅为0.1 dB/circuit,可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考.