微通道板在12～40 nm波段的量子效率测量

摘要

提出了一种测量微通道板(MCP)量子效率的方法.该方法选用激光等离子体光源作为极紫外辐射源,使用传递标准探测器-硅光电二极管标定光源强度,用标定后的光照射待测MCP,采用直接测量电压来间接测量探测器输出电流,再计算出MCP量子效率.实验结果表明,在12～40 nm,MCP量子效率为2%～12.3%,量子效率随波长的增大呈下降趋势.测量与误差分析表明,导致MCP量子效率测量结果变化的主要因素是光源稳定性和机械转动精度.通过与计数方式测量结果比较,进一步验证了本测量方法的正确性.