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王蔚; 田丽; 刘晓为; 任明远; 张颖;
哈尔滨工业大学,微电子科学与技术系,黑龙江,哈尔滨,150001;
哈尔滨理工大学,软件学院,黑龙江,哈尔滨,150080;
PZT; 压电功能结构; 执行器元件; 微机电系统;
机译:压电微机械超声换能器上硅基PZT纤维外延薄膜的制备与表征
机译:硅基板上的0.06PMnN-0.94PZT(45/55)薄膜的铁电,压电和介电
机译:压电致动器硅基板上的PZT厚膜的制造
机译:通过溅射在硅基板上生长的PZT薄膜铁电和压电性能的影响
机译:基于压电的多功能结构的建模与表征
机译:航空航天SHM应用中的PZT / PZT和PZT /位复合压电传感器:光化学金属有机+渗透沉积和表征
机译:用于微机器人角速率传感和旋转驱动的薄膜pZT压电mEms。
机译:Mn PZT Mn PZT MN掺杂的PZT压电薄膜形成成分和MN掺杂的PZT压电薄膜组成
机译:用于形成Mn掺杂的PZT基压电膜和Mn掺杂的PZT基压电膜的组合物
机译:PZT压电膜,其形成方法和用于形成PZT压电膜的组成
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