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吴春霞; 马剑秋; 高志山; 郭珍艳; 袁群;
南京理工大学电子工程与光电技术学院;
无损测量; 光学显微干涉; 自适应像差补偿; COMSOL仿真; 硅通孔形貌;
机译:硅通孔(TSV)蚀刻计量的背面红外干涉图样晶圆厚度检测
机译:基于短扫描傅里叶变换红外干涉图的近红外葡萄糖测量的选择性和鲁棒性评估
机译:使用近红外光学干涉仪的硅板厚度测量系统
机译:近1A显微镜的像差测量和补偿
机译:基于纳米结构的近红外半导体发射器,用于低相干干涉测量应用。
机译:三相交法近红外干涉法测量硅镜的绝对平面度
机译:用Keck干涉仪Nuller测量近红外和中红外水汽
机译:基于正交色散的单点光谱域干涉测量近红外光谱无创测量系统及方法
机译:基于红外的计量检测硅通孔周围的压力和缺陷
机译:基于红外的计量,用于检测硅通孔周围的张力和缺陷
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