纳米级“光学卡尺”

摘要

国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”研制工作在成都启动。未来其将广泛用于微电子集成电路、太阳能电池基片，及大型高功率固体激光系统、空间光学系统等设备检验检测。