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贾嘉; 陈新禹;
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海,200083;
基片温度; 离子束溅射; 温控技术;
机译:改进的离子束溅射工艺中的引导程序中的空间分离效应
机译:给水温度的控制方法,采用遗传程序优化SWRO脱盐工艺
机译:离子束溅射工艺中AL_2O_3薄膜生长的多种比例建模
机译:研究工艺参数变化对离子束溅射Sc2O3和HfO2薄膜的材料性能和激光损伤性能的影响。
机译:修改后的指导程序中的空间分离效应离子束溅射工艺
机译:快速蚀刻工艺,将刻有涂层的乙烯基片转化为积极性
机译:流体系统中温度的估算方法,流体系统中温度分布的估算方法,流体系统中温度分布的监测方法,温度估算装置,热镀锌和热镀锌斑块中熔融锌的温度控制方法,温度估算装置中间包中液态钢温度的控制方法
机译:用于无浇口注射成型工艺中的热喷嘴的温度控制系统及其温度控制方法
机译:用于分离和输送盘状基片的装置具有在内部流体中布置的支撑单元,其中,各个基片以基片堆的形式在输送方向上依次相继放置
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