微型执行元件的最新动向

摘要

近年来，人们对微机械寄予很大期望。但是要实现微机械，尚有许多研究课题。诸如微执行元件，微细结构元件的加工或组装技术，能量供应技术以及控制通信技术等。其中微执行元件的选定或者微机械的设计以及包括传感器的控制系统设计均起很重要的作