用双频相位调制的干涉仪

摘要

本文在理论和实验上研究了适合于测量位移和监督波前的双频相位调制干涉法。对由颗粒噪声、压电陶瓷的滞后作用、已调波及其振幅偏离值之间的相位移动决定的误差进行了分析，表明在实际条件下可得到2π／180的相位测量误差。