微机械在信息仪器中的应用

摘要

1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以及新出现的信息仪器.2.