高热负载同步辐射反射镜的在线表面监测系统

摘要

1.引言第三代高亮度同步辐射光源,先进光子光源(AP,能向光束线光学件发送非常巨大的X射线功率(4kW)和功率密度(140W/mm^2)。为了能把这样高功率的X射线未完全地传递出去,必须使X射线反射镜在如此高热载条件下保持其表面允差小于1arcsec(5μrad)。目前已经有一些商业化的测量系统,可以用于离线测量这些反射镜的绝对面形。然而,这些复杂系统很笨重、速度缓慢、并且是昂贵的。只是在最近才有文献根据道了一种改进型在线测量系统。尽管其它几家第三代同步辐射光源制造厂商,诸如法国Grenoble的European SynchrotronRadation,已研制出作为自适应反射镜系统的一部分的在线系统监测装置,而本文描述的系统要比前面几家设计的系统更精巧、更方便和更廉价。