高功率高重频TEACO2激光器均匀场放电电极设计

摘要

介绍了在高功率、高重频TEA CO2激光器上应用的修整改型Chang氏电极的结构形状.对修整改型的Chang氏电极在垂直放电方向上有较好的均匀性、电极的曲面、电极表面电场强度分布、主放电极辉光放电和放电区域均匀放电做了必要的论述.通过电极型面及结构的基本放电参数与输出特性的实验,并结合在大功率、高重频、高脉冲能量和高速气体循环特点下的TEA CO2激光器,说明选择修整改型后的Chang氏电极更为适宜.