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用沟道离子注入法研制稀土硅化物

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用沟道离子注入法生成的稀土硅化物产物经背散射沟道分析、电镜分析和X射线衍射测试表明:它具有很好的结晶品质(ErSi1.7的χmin值可低到1.5%)和很高的相稳定性.

著录项

来源
《核技术》 |1999年第2期|69-72|共4页
作者
姚淑德; 吴名枋; 陈守元; 张勇;
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作者单位

北京大学,北京,100871;

北京大学,北京,100871;

北京大学,北京,100871;

北京大学,北京,100871;

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正文语种 chi
中图分类原子核物理学、高能物理学;
关键词
沟道离子注入; 稀土硅化物;

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