使用沟道自对准硅化物布线层的方法

摘要

本发明涉及使用沟道自对准硅化物布线层的方法，所揭露的是使用分段式沟道自对准硅化物层(segmented trench salicide layer)而能选择性连接鳍结构(fin structure)的方法以及所产生的装置(resulting device)。具体实施例包括：在基底上提供至少一个栅极结构；提供依垂直方向与至少一个栅极结构相交的第一与第二鳍结构；以及提供自对准硅化物层的第一区段(segment)，第一区段沿着水平方向形成并且与第二鳍结构连接以及与第一鳍结构分离。