同步辐射双晶单色器平行度测量方法研究

摘要

针对上海光源(SSRF)光束线建设和晶体单色器须进行双晶晶体表面(晶面)平行度离线测量的需求,探讨了利用十字位相板改进后光笔干涉仪法测量双晶晶体表面平行度的可行性,并开展原理性实验.该方法克服了自准直仪法不能测量晶面绝对平行度的缺陷,并实现了同时测量双晶单色器的二维平行度.在本实验装置下,投角和滚角的理论测量精度可达0.89″和1.79″,为调节双晶单色器晶面平行度提供一种新的测量方法.