微波共振探针及其在等离子体诊断中的应用

摘要

介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针,给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用.分析了传输模式和反射模式的工作过程及对测量范围、测量精度和空间分辨率等影响因素.结果表明,选用较长的探针有利于提高电子密度的测量范围和精度;选用的微波扫频源高端频率越高,频率分辨率越高,则电子密度的测量范围越大,测量精度越高.理论分析得出系统可测量的电子密度约为1.37×10<'8>～4.1×10<'11>cm<'-3>.