等离子体密度

摘要： 等离子体密度作为空间环境的重要参量,它的全球实时分布信息不仅对理解内磁层带电粒子时空演化过程具有重要意义,对于预报和防范灾害性空间天气过程也有着潜在应用价值.利用范阿伦双星的高质量等离子体密度观测数据,本文基于机器学习算法训练得到一个稳定的深度神经网络模型:包含五个隐藏层;激活函数包括Sigmoid和ReLU函数;以太阳风参数、地磁指数以及卫星对应的位置信息作为输入.在测试集上,该模型输出值和观测值之间的线性相关系数约为0.93,均方根误差(RMSE)约为0.3,表明该模型性能良好.通过使用该模型对2012年4月24日磁暴事件中等离子体密度的全球动态变化进行模拟,我们成功重构了磁暴期间内磁层等离子体密度的全球变化过程,包括等离子体层的侵蚀和恢复,以及羽流的形成和消失.该内磁层等离子体密度的深度神经网络模型将有助于推动内磁层波粒相互作用的深入研究.

摘要： 建立了轴向磁场条件下直流径向辉光放电的一维模型。采用磁流体动力学方法对模型进行了仿真分析,得到了不同条件下电极间空间工作区的电子密度分布。数值结果表明,轴向磁场增加了电子的运动路径,提高了电子与中性原子的碰撞效率,使放电等离子体密度显著提高。

摘要： 目的满足质子交换膜燃料电池双极板的使用要求。方法采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变热丝放电电流调控溅射等离子体密度,在Ti6Al4V(TC4)合金表面制备了氮化铬(CrN)薄膜。结果随着热丝放电电流从0 A增加至32 A,真空腔内等离子体密度增强,‒50 V偏压下基体偏流密度从0.07 mA/cm^(2)增至0.7 mA/cm^(2)。CrN薄膜择优取向从低应变能的(111)转变成表面能更低的(200)择优取向。薄膜表面形貌由较疏松的四棱锥型转变成致密球形;无热丝时,CrN薄膜显示有铬的(110)衍射峰且铬原子数分数为52.16%,为富金属薄膜。热丝放电电流为16 A和32 A时,CrN薄膜中的铬原子数分数分别降至50.79%和49.82%,且无Cr的衍射峰,即逐渐转变为贫铬。采用热丝辅助磁控溅射,将使氮气离化率增大,活性增强,引起薄膜贫铬。模拟双极板工作环境下,与TC4腐蚀电流密度1.5×10^(‒8) A/cm^(2)相比,CrN薄膜的腐蚀电流密度由无热丝的3×10^(‒5) A/cm^(2)降至使用热丝的9×10^(‒9) A/cm^(2)。对电化学阻抗谱拟合等效电路表明,无热丝放电电流条件下制备的CrN薄膜等效电路中出现了基体与涂层间的电阻,说明疏松涂层为腐蚀液提供了通道,在基体和涂层间形成了腐蚀。16 A和32 A热丝放电电流条件下制备的CrN薄膜与表面无涂层的钛合金等效电路相同,说明致密涂层能有效阻碍腐蚀介质的渗入,具有最佳腐蚀抗性。无热丝放电电流时接触电阻为7.95 mΩ·cm^(2),热丝放电电流16 A时接触电阻增至15.65 mΩ·cm^(2),32 A时接触电阻大幅增加。结论在质子交换膜燃料电池双极板备选材料钛合金表面制备致密CrN薄膜,增强了基体的耐蚀性,但贫铬组分导致薄膜电阻增大。在钛合金电极板表面制备致密且略富金属或化学剂量比相当的CrN薄膜,将满足其作为燃料电池双极板的使用条件。

摘要： 利用自行设计的空心阴极放电装置,研究了磁场对辉光等离子体参数的影响,得到了不同磁场强度下空心阴极辉光放电的击穿电压与气压、伏安特性的关系,以及不同磁场条件下等离子体密度的空间分布。结果表明,在相同压力下,磁场能有效降低击穿电压,提高辉光放电电流。在低气压和弱磁场条件下,只有在一定的电压范围内才能产生辉光等离子体。随着磁场或压力的增大,电压阈值逐渐增大。对于中孔阳极型的辉光放电,从阴极到阳极,等离子体密度的轴向分布逐渐增大。

摘要： 利用山东威海槎山站(122.296°E,36.866°N)地面GNSS电离层电子总含量(total electron content,TEC)与闪烁接收机2018—2019年的观测数据,初步探索了我国中纬度地区卫星信号失锁现象及其可能的成因。依据定义的卫星信号失锁判定标准,结合全球电离层TEC数据,展示了典型的信号失锁现象并进一步开展事件分析及初步统计研究。结果表明:在太阳活动低年,我国中纬地区地面接收机捕获到卫星信号失锁现象,其持续时间从1 min到10 min多不等;信号失锁前经常出现信噪比下降、闪烁强度增强等现象。结合相应区域的Madrigal TEC数据,初步推断电离层的等离子体密度或TEC在时间和空间上的较快减少可导致信号失锁。本文研究揭示了我国中纬度地区卫星信号失锁现象的特点及可能的形成原因,具有一定的科学意义和应用价值。

摘要： 随着工业技术的发展,等离子体已被广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、等离子体材料表面改性技术、等离子束材料表面镀膜技术以及螺旋波等离子体推进器等领域,因此,等离子体对每个相关领域的进一步发展具有重大影响.介绍了螺旋波等离子体中带电介质单色平面波的色散关系、螺旋波等离子体的产生机制及特性,探究了影响等离子体密度的相关因素,分析了螺旋波等离子中电子、离子和自由基在金属材料表面清洗过程中的作用,对比了辉光放电等离子体与大气压射流等离子体清洗.

摘要： 随着工业技术的发展,等离子体已被广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、等离子体材料表面改性技术、等离子束材料表面镀膜技术以及螺旋波等离子体推进器等领域,因此,等离子体对每个相关领域的进一步发展具有重大影响。介绍了螺旋波等离子体中带电介质单色平面波的色散关系、螺旋波等离子体的产生机制及特性,探究了影响等离子体密度的相关因素,分析了螺旋波等离子中电子、离子和自由基在金属材料表面清洗过程中的作用,对比了辉光放电等离子体与大气压射流等离子体清洗。

摘要： "多模式电磁场可控涂层技术及装备研发"项目,致力于解决传统离子镀"大颗粒"、等离子体密度低、分布不均匀等重大技术难题,突破了国外技术垄断,为机电产业高质量发展提供了强有力的支撑。该项目系列成果相继获中国机械工业科学技术二等奖1项,温州市科技进步二等奖1项,授权发明专利15项,发表SCI论文30篇,其中代表性论文10篇,SCI他引141次。经中国机械工业科技成果评估中心及浙江省技术经纪人协会组织专家鉴定,该项目总体居于国内领先、国际先进水平。

摘要： "神龙一号"直线感应加速器能够产生能量～20MeV、束流2kA、脉宽80ns(FWHM)的脉冲电子束,该脉冲电子束与轫致辐射靶作用产生强剂量的脉冲X射线,同时由于电子束的能量在轫致辐射靶上的沉积,造成靶内温度骤然升高,会在靶区及附近产生高温等离子体,这些等离子体的存在和逆向运动会影响到电子束的聚焦和打靶。本文利用激光干涉方法对"神龙一号"靶区等离子体密度进行了测量;得到动态下、变化的干涉图像,通过对图像的分析处理,最后得到等离子体密度约在1022/m3,并对该结果可能引起的影响进行了分析。

摘要： 本文针对电离层等离子体密度探测技术进行了介绍,阐述了探针目标、工作原理以及详细的探测系统,并给出了传感器和电子学部分的技术设计.最后,讨论总结了等离子体密度探测技术现存的特点及其相应的缺点.

摘要： 利用电荷收集法,在正、负偏置和低真空背景三种不同收集条件下测量了用于等离子体断路开关的电缆等离子体枪产生的低温等离子体的密度和漂移速率.测量结果表明:三种收集条件下测得的等离子体漂移速率相近;在相同测量点处,负偏置收集条件下测得的等离子体密度大于正偏置和低真空背景收集条件下的测量值,而低真空背景收集条件下的测量值最小.不同收集条件下等离子体密度测量结果的偏差与国际上利用微波、光谱及干涉法获得结果的偏差相当.

摘要： 近年来国内外对震前电离层异常扰动进行了大量研究，新的观测证据显示，地震活动前的电离层扰动确实存在，而且在震级大于MS级的地震发生前几天到几个小时内的孕震区上空会发生显著电离层扰动。作者利用搭载在DEMETER上的朗缪探空仪(Instrument Sonde deLangmuir ISL )、等离子体分析仪(Instrument Analyseur de Plasma IAP)和电场探测仪( Instrument Capteur Electrique ICE)数据分析了等离子体密度与电场的空间分布。在排除地磁扰动影响的前提下，用地震前后33天的平均探测数据作为滑动背景场，在以震中为圆心2400公里为半径的空间范围里，作者给出了2004年11月到2005年10月，17次M7.0级以上地震事件和46次M6.5级以上地震事件的电离层等离子体参量相对变化的时、空、强统计分布。

摘要： 本工作利用ROCSAT-1卫星对600 km高度等离子体密度的观测数据，考察了太阳活动变化对低纬顶部电离层的影响。首先，考察了太阳活动变化对等离子体密度的纬向分布特征的影响，发现其有地方时和季节依赖。其次，考察了等离子体密度随太阳活动指数P=(F107+F107A)/2的变化特征，发现其变化趋势有明显的纬度、地方时和季节依赖。

摘要： "热层、电离层和中层大气(TIM: Thermosphere-Ionosphere-Mesosphere)"探测的新方法和新技术(高度范围:20～650km),重点研究全球紫外成像方法、太阳极紫外辐射通量监测方法、中性风实地和遥感测量方法、电离层不规则性测量方法等。探测的物理量涉及等离子体密度,等离子体漂移(或电场),电离层闪烁,中性气体的密度、温度和成分,中性风、太阳极紫外辐射谱通量、极光电子沉降等。拟采用的方法和技术涉及遥感和实地测量,重点是全球紫外成像、太阳极紫外辐射谱通量监测、矢量中性风实地测量、离子漂移速度实地测量等。该项目研究将确定上述方法的特点、难点和在我国实现的技术途径。研究利用导弹配重弹头搭载仪器探测大气参数,用于对遥感数据标定的技术和方法。这些研究将为我国未来发射低轨卫星星座做好理论和技术上的准备。此探测星座一旦形成业务能力,我国将获得近地空间全天时、全天候的全球中层大气数据,可使我国有能力建立更准确的热层、电离层和中层大气系统的动态模式,对提高我国电离层、热层和中层大气探测和研究水平,进一步推动我国空间天气研究和加强国防建设具有十分重要的意义。

摘要： 低温等离子体在传统和高新产业中取得了愈来愈重要的地位,射频感应耦合等离子体作为一种重要类型的等离子体被人们广泛深入地研究和应用.本文采用流体模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布;分析了不同结构和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响。

摘要： Helicon离子源能够产生密度高而均匀的等离子体的特性，在离子源技术，等离子体物理研究以及航空推进器等方面有着广泛的应用。本文完成了Helicon离子源的设计、加工组装及初步调试，在低功率下起弧的基础上，利用Langmuir四探针诊断方法初步研究了Helicon源中等离子体的特性，并进行了离子束引出初步实验，获得了初步数据。

摘要： Helicon离子源能够产生密度高而均匀的等离子体的特性，在离子源技术，等离子体物理研究以及航空推进器等方面有着广泛的应用。本文完成了Helicon离子源的设计、加工组装及初步调试，在低功率下起弧的基础上，利用Langmuir四探针诊断方法初步研究了Helicon源中等离子体的特性，并进行了离子束引出初步实验，获得了初步数据。

摘要： Helicon离子源能够产生密度高而均匀的等离子体的特性，在离子源技术，等离子体物理研究以及航空推进器等方面有着广泛的应用。本文完成了Helicon离子源的设计、加工组装及初步调试，在低功率下起弧的基础上，利用Langmuir四探针诊断方法初步研究了Helicon源中等离子体的特性，并进行了离子束引出初步实验，获得了初步数据。

摘要： 一种等离子体蚀刻方法，包括：第1工序，在惰性气体的等离子体、即第1等离子体(PL1)中将基板(S)吸附于单极式静电卡盘(15)上之后，停止生成第1等离子体；和第2工序，在卤素类蚀刻气体的等离子体、即第2等离子体(PL2)中对基板(S)进行了蚀刻之后，停止生成第2等离子体。然后，在第1工序中，在从单极式静电卡盘(15)向基板(S)施加了正电压的状态下停止生成第1等离子体(PL1)，在第2工序中，在从单极式静电卡盘(15)向基板(S)施加了负电压的状态下停止生成第2等离子体(PL2)。

摘要： 在用氧化铝、稀土族氧化物、聚酰亚胺或聚苯并咪唑中任一种喷镀膜覆盖基材表面的等离子体处理容器内部部件的、随着在等离子体中使用而劣化的喷镀膜上，再喷镀与上述喷镀膜同样的材料。由此，能够使因在等离子体中的使用而表面产生劣化的等离子体处理容器再生得如同新品一样。

摘要： 这里所公开的是一种用于在等离子体室中生成等离子体的等离子体室设置方法。制备多个等离子体线圈，包括第一等离子体源线圈、第二等离子体源线圈和第三等离子体源线圈，该第二等离子体源线圈在其中心部分具有高于第一等离子体源线圈蚀刻速率的蚀刻速率，该第三等离子体源线圈在其边缘部分具有高于第一等离子体源线圈蚀刻速率的蚀刻速率。将第一等离子体源线圈设置在等离子体室上，并蚀刻测试芯片。对测试芯片的每个位置的蚀刻速率进行分析，并基于分析结果利用第二等离子体源线圈或第三等离子体源线圈代替第一等离子体源线圈。

摘要： 本发明涉及等离子制备技术领域，尤其为一种产生高密度等离子体的内置型等离子源及其等离子体辅助沉积方法，所述控制电源的输出端信号连接有运输设备，所述运输设备的出口固定连接有延长料道，所述长料道的末端固定连接有缓冲区，所述沉积设备的出口固定连接有反应腔室，所述反应腔室的内部固定连接有测温模块，所述反应腔室的输出端固定连接有相序保护单元，所述反应腔室的端固定连接有熔断保护模块。本发明通过测量模块对原料层进行甄别区分处理，运输设备将原料运输到沉积设备，再通过沉积设备将原料运送到反应腔室进行制备，从而达到了在控制温度恒定以提高所述金属层接触电阻的均匀性的前提下，实现了生产效率的提高的效果。

摘要： 本发明涉及等离子体离子密度测定装置，上述等离子体离子密度测定装置的特征在于，包括：收发天线，向等离子体施加能够改变频率的微波并接收；以及频率分析器，分析上述收发天线接收的微波的频率来测定截止频率，能够在100kHz以上且500MHz以下的范围内改变向上述等离子体施加的微波的频率。

摘要： 一种用于加工工件的真空等离子体腔室，它包括用于与腔室中的气体电气耦合并分别连接至第一和第二、相对较高和较低频率的RF电源的第一和第二电极。该腔室包括处于参考电位的一壁，和一与该壁间隔开的等离子体约束区域。一连接至诸电源和诸电极的滤波器结构使来自第一电源的电流能流至第一电极，并阻止从第一电源流出的电流大量地流至第二电极和第二电源，以及使来自第二电源的电流能流至第一和第二电极，并阻止来自第二电源的电流大量地流至第一电源。

摘要： 本发明涉及平面型等离子体诊断装置，其特征在于，包括：发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向。

摘要： 一种等离子体蚀刻方法，包括：第1工序，在惰性气体的等离子体、即第1等离子体(PL1)中将基板(S)吸附于单极式静电卡盘(15)上之后，停止生成第1等离子体；和第2工序，在卤素类蚀刻气体的等离子体、即第2等离子体(PL2)中对基板(S)进行了蚀刻之后，停止生成第2等离子体。然后，在第1工序中，在从单极式静电卡盘(15)向基板(S)施加了正电压的状态下停止生成第1等离子体(PL1)，在第2工序中，在从单极式静电卡盘(15)向基板(S)施加了负电压的状态下停止生成第2等离子体(PL2)。

摘要： 本发明的目的在于提供使利用转动等离子体进行的等离子体处理稳定且可以控制、并可以提高等离子体处理质量的等离子体流生成方法、等离子体处理方法、等离子体发生装置和使用它的等离子体处理装置。4个象限（Z1～Z4）中的各频率被设定为7、15、6、20Hz。利用该频率可变，可以使被分割成4个的转动角区域中的等离子体的转动速度不同。由于等离子体（P2、P4）的周向转动速度比等离子体（P1、P3）快，所以可以照射边描绘圆轨道（C）边从等离子体（P1）到（P2）、（P3）、（PB4）周期性变速转动的转动等离子体，可以在第一象限（Z1）～第四象限（Z4）中实施均匀的成膜处理。

摘要： 等离子体处理装置(11)具有：从排气孔(13)向下方侧延伸的第一排气路(15)；与第一排气路(15)的排气方向的下游侧端部连接，在与第一排气路(15)垂直的方向上延伸，在相对于排气方向正交的断面上是宽度方向比上下方向长的横长断面形状的第二排气路(16)；与第二排气路(16)的排气方向的下游侧端部连接，在与第二排气路(16)垂直的方向上延伸的第三排气路(17)；与第三排气路(17)的排气方向的下游侧端部连接，对处理容器(12)内减压的泵(18)；设置在第二排气路(16)内，具有能够封闭第二排气路(16)，且对排气方向的上游侧与下游侧之间的压力进行调整的压力调整用阀板(20)的压力调整阀(21)；设置在第三排气路(17)内，具有进行第三排气路(17)的开闭的关闭阀板(22)的关闭阀(23)。