介质阻挡放电等离子体中OH自由基的光腔衰荡光谱原位诊断

摘要

研制了一套等效噪声吸收可达3×10-9cm-1的连续波光腔衰荡光谱装置.用该装置对介质阻挡放电等离子体中的OH自由基和水进行了原位定量测量,考察了OH自由基数密度随气压和放电电压以及放电频率的变化情况.实验结果表明,在(2.13～22.0)×103Pa范围内,随着气压增加,OH自由基数密度在气压较低时增加;而在较高气压时由于H2O的解离吸附作用使得体系中电子密度减小,OH自由基数密度随之减小.随放电电压和放电频率增加介质阻挡放电等离子体中电子密度和电子能量增加而导致OH数密度增加.