太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,太原030024;
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室,太原030024;
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太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室,太原030024;
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太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室,太原030024;
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