SU-8胶高温碳化制备微电极研究

摘要

采用SU-8光刻胶为前驱体,控制转速在硅基上均匀旋涂SU-8胶薄膜,采用不同碳化温度制得微型微机电系统(MEMS)超级电容器多孔碳电极材料.研究结果表明:在碳化温度为900℃的条件下,制得的MEMS超级电容器多孔碳电极材料的孔隙结构发达、导电性较好,0.5mA/cm2电流密度下比电容可达49.3mF/cm2,在超级电容器电极材料领域具有较好的市场前景.