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邻叠氮醌化合物与正型光刻胶

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＜正＞六十年代初,邻叠氮醌类化合物作为正型光刻胶用于电子工业的掩膜版。所谓正型光刻胶即指在曝光过程中,感光部份化合物吸收能量引起化学分解作用,经过较为复杂的反应过程,转变为可溶于显影液的物质,而未经感光的光刻胶则不溶于显影液。此类化合物属光分解型,较有代表性的是邻叠氮醌类化合物。其结构式如下:

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来源
《化工新型材料》 |1984年第5期|17-20|共4页
作者
刘鹏;
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