碱式干膜抗蚀剂

摘要

＜正＞ 三菱人造丝公司开发了高密度印刷线路配线基板用的碱式干膜抗蚀剂（DFR）“夕”,一年前进行了预售,拟于今年夏天在丰桥工场内建成年产能力为300万m~2的装置,并正式进行生产和出售产品。DFR的国内市场规模全年为1 500万m~3（约为120亿日元）,分溶剂和碱水溶性两种类型,显影用溶剂中氯系溶剂占60%。目前工艺成本合理、无公害污染的碱型DFR