微波法等离子体诊断的原理分析

摘要

等离子体诊断技术是一种探测等离子体特性的技术，本文对微波法等离子体探测的原理进行理论分析，主要包括自由传播法和空腔法，并对该方法的特点进行讨论。本讨论对等离子体光谱诊断具有一定参考意义和价值。