采用空气轴承的大行程快速刀具伺服系统

摘要

随着对结构化超精密部件需要的不断增加，出现了加工具有高的表面光洁度以及形状精度的非旋转对称镜片的新技术。根据现有的快速刀具伺服系统，研制出了最大行程为１６ｍｍ的新型快速刀具伺服系统。以前的快速刀具伺服系统采用了弹性导向机构，而现在的快速刀具伺服系统则采用了空气轴承，并且用了一个高频直线电机来驱动这个系统。由于采用了一个新的功率放大器，使得这个系统能够提高最高达到１００Ｈｚ的频率以及１ｍｍ的振动幅度