纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展

摘要

纳米氮化铝(AlN)具有优良的热导率、电学性能和力学性能,被广泛应用于新一代半导体器件。氮化铝器件的性能表现取决于氮化铝粉体的质量,因此,优质氮化铝粉体的制备是氮化铝行业发展的关键。本文综述了氮化铝的纳米粉体制备及相关应用的研究进展,并讨论了氮化铝的发展方向。