三种不同Cr/Al/Ti元素比例的电弧离子镀（Cr/Al/Ti）N膜耐高温氧化性能的比较

摘要

用常用的Ti0.33Al0.67靶和Ti0.l50Al0.50靶以及Cr靶，在M2高速钢基体上镀制了三种不同Cr/Al/Ti比例的（Cr,Al,Ti）N涂层。比较了其硬度、结合力；测试了其抗800℃12小时以及900℃1小时氧化性能。结果表明，Cr/Al/Ti为0.55/0.27/0.16的涂层具有更高的硬度，更好的耐高温氧化性能。而结合力基本上没有差别。