有机玻璃表面透明导电薄膜制备方法研究

摘要

对有机玻璃表面透明导电膜的结构、制备工艺和特性进行了研究,通过金属氧化物复合薄膜的膜系结构设计,采用磁控溅射镀膜方法和最佳工艺参数的控制,完成了有机玻璃镀膜样片的制备。通过镀膜样片特性检测,结果表明:沉积时间60 s、厚度5 nm的情况为最佳金膜沉积参数;镀膜试验样片方块电阻为8Ω/□,可见光波段的平均透过率达到70%,具有较好的电导、光学和环境适应综合特性指标。