具有纳米精度的光学条纹细分

摘要

＜正＞ 1.前言可靠的双向条纹计数,在理想的情况下,其干涉图形产生的两个正弦波形输出,既无直流偏移,相位差应是π/2。实际上,这些指标难于实现。因此,为了获得纳米级的程长分辨率,必须对正交相位信号进行修正。理想正交的干涉仪信号 U1和 U2,如图1所