粗糙的氧化锌涂层能防止粘连

摘要

科学家报道称粗糙氧化锌涂层能防止细小的硅零件相互粘接在一起。Xinchu Lu和同事解释说在设计非常小的微型机电系统（MEMS）时，需要重点考虑粘接问题。硅广泛用于MEMS装置，但它是粘性的。传统的解决方法是在硅上包覆拒水涂层或者使表面变粗糙。