微型机电系统

摘要： 针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式.通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特性、灵敏度特性、零点漂移及灵敏度漂移进行了测试.结果表明,脉冲供电工作方式不仅可极大地降低MEMS催化甲烷传感器的功耗,而且在零点漂移和灵敏度方面拥有更加优异的性能.

摘要： 文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利用多物理场原理对压电谐振器结构进行了仿真优化.多物理场仿真可以更加直观,深入的理解PCMR的工作原理和过程.不利用等效电路模型,所以可以准确的找到谐振器各组成部分对谐振器的影响.基于仿真的结果,分别设计了平板型(82.75MHz)和交指型(346.5MHz)轮廓模式谐振器并利用MEMS工艺对其进行了制作.制作的轮廓模式谐振器具有较高的Q值(800),机电耦合系数2％,测试结果和仿真结果基本的吻合.

摘要： 前言 近年来，微系统传感单元的销量大幅增加。其中，基于微型机电系统（MEMS）的加速计、陀螺仪、耳机、和压力、温度、湿度传感器进入到了消费市场，尤其在手机中得到大规模应用。来自该领域的分析人士认为，这仅仅是新传感世纪的开始。

摘要： 回顾了微纳机电系统(Micro/Nano electro-mechanical system,MEMS/NEMS)器件工业中所用键合技术的发展和应用,总结了作为其中关键键合技术之一的阳极键合在微纳系统中的重要作用及其主要特点,分析了阳极键合的机理以及所涉及的力学问题,如键合力(静电力、表面力等)作用下的表面粘着;电场作用下接触界面处粒子的扩散、反应;键合界面层中的残余应力等.阳极键合界面层的力学行为及特性直接关系到MEMS器件中微机械结构的安全与可靠性.对这些问题的研究,有助于更好地理解阳极键合,为MEMS/NEMS器件的设计、制造加工以及实际应用提供许多有益参考.

摘要： 正MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智

摘要： 科学家报道称粗糙氧化锌涂层能防止细小的硅零件相互粘接在一起。Xinchu Lu和同事解释说在设计非常小的微型机电系统（MEMS）时，需要重点考虑粘接问题。硅广泛用于MEMS装置，但它是粘性的。传统的解决方法是在硅上包覆拒水涂层或者使表面变粗糙。

摘要： 根据当前胃肠道内窥镜自主运动机器人的研究方向,设计了一种微型的肠道内窥镜机器人系统.机器人采用仿尺蠖式的运动步态,通过直流无刷电机驱动驻留-伸缩-驻留式的结构实现主动运动.整体采用模块化设计,主要包括驻留机构、伸缩机构、电路控制系统以及无线供能模块.对机器人结构模型进行了理论探讨,介绍了电路控制系统的设计,以及无线供能模块的构成.最终的机器人样机直径约为14 mm,整体长度约为61 mm.机器人在PVC柔性管道和猪小肠离体爬行实验中运行稳定可靠,能够实现前进、退后和停留等步态.实验结果表明该微型仿生肠道内窥镜机器人在肠道内可以实现主动运动.

摘要： 产品名称:阿基米德颗粒计量分析系统产品简述:阿基米德是一款全新的创新型仪器,该仪器采用共振质量测量技术,可对粒度范围在50nm～5μm的颗粒进行准确地检测与计数,同时还可对其浮力质量、真实质量及粒度进行可靠测

摘要： 飞思卡尔半导体日前推出三款敏感度极高的传感器，据称可以带来微型机电系统（MEMS）行业加快向消费市场的更高采用率转换。

摘要： 按照微型传动系统,谐波齿轮传动和微型谐波齿轮传动的顺序进行叙述,以这几个方面的产生的背景、研究意义、研究现状以及国内外的发展现状层层递进,阐述微型谐波齿轮传动在微型传动领域里的重要性。提出了微型谐波齿轮传动中的一种新型结构方式,行星式波发生器微型谐波齿轮传动。最后叙述了微型谐波齿轮传动的驱动方式和制作材料。

摘要： 提出一种基于敏度的微型机电系统设计综合方法,设计综合是分析仿真的反问题,由分析方程组决定的性能方程组中采用任何求解非线性方程组的算法求解,我们采用了基于敏度的牛顿迭代法.与遗传算法和退火算法等自然模拟优化算法相比,本解法的计算工作量大大降低,例如,某弹簧谐振器的设计综合计算从上万次分析减少到17次分析,计算时间从数小时减少到小于30秒.

摘要： 纳米科学与技术是深入到原子级微观世界的新科技,最近获得了极大的进展.这是一个新的科技发展领域,有可能使多个科技领域产生重大突破,各国都给予极大的重视.本文中介绍了纳米科技的几个主要方面的最新研究进展情况:纳米级精度的测量;扫描隧道显微镜和原子力显微镜;超精密加工和原子级加工;纳米材料;微型机械和微型机电系统:微型机械的制造等.

摘要： 在总结微型机电系统(MEMS)的特点和现有微细加工方法的基础上,讨论了空间机构微小化设计的准则,最后用一个空间机构的微小化设计例子说明了设计方法.

摘要： 本文概述了微型机电系统的发展与技术特点,产业化、国防应用和基础研究的问题,以及我国微型机电系统的现状.国际上微型机电系统技术刚刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.

摘要： 微型喷是微型机电系统的一种重要执行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微供给、芯片冷却以及气流控制等。近几年来，随着航天领域微型化技术的发展，用于微型推进系统的微型喷的研究越来越受到重视。该文所研究了用于微型推进系统的微型喷，该微型喷采用以水为工质的电阻电热工作方式，利用硅微加工工艺制作。

摘要： 该文结合粗糙平面粗糙峰接触的统计模型和半空间弹性理论,建立了光滑球和粗糙平面粘着接触的非线性模型,并通过计算仿真研究了微粗糙表面的接触行为.结果反映出δD*作为一个综合参数,能够影响拉离力、表面应力和表面变形。

摘要： 该文结合粗糙平面粗糙峰接触的统计模型和半空间弹性理论,建立了光滑球和粗糙平面粘着接触的非线性模型,并通过计算仿真研究了微粗糙表面的接触行为.结果反映出δD*作为一个综合参数,能够影响拉离力、表面应力和表面变形。

摘要： 该文结合粗糙平面粗糙峰接触的统计模型和半空间弹性理论,建立了光滑球和粗糙平面粘着接触的非线性模型,并通过计算仿真研究了微粗糙表面的接触行为.结果反映出δD*作为一个综合参数,能够影响拉离力、表面应力和表面变形。

摘要： 该文结合粗糙平面粗糙峰接触的统计模型和半空间弹性理论,建立了光滑球和粗糙平面粘着接触的非线性模型,并通过计算仿真研究了微粗糙表面的接触行为.结果反映出δD*作为一个综合参数,能够影响拉离力、表面应力和表面变形。

摘要： 该文结合粗糙平面粗糙峰接触的统计模型和半空间弹性理论,建立了光滑球和粗糙平面粘着接触的非线性模型,并通过计算仿真研究了微粗糙表面的接触行为.结果反映出δD*作为一个综合参数,能够影响拉离力、表面应力和表面变形。

摘要： 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。

摘要： 用于通过MEMS微型阀控制传动系统的流体压力的系统，所述系统包括被配置为接收目标指令压力、当前系统指令压力输入信号和传动系统操作温度的传动控制器。功率确定模块根据控制器中接收的目标指令压力、当前系统指令压力输入信号、传动系统操作温度和控制器内的查找表来确定温度相关功率因数。功率信号模块通过温度相关功率因数调节当前系统指令压力输入信号，并经由控制器将调节后的当前系统指令压力输入信号施加到MEMS微型阀。

摘要： 一种微型开关，其包括：底座元件(G)，其具有接触表面(KG)和电极(EG)；以及开关元件(S)，其具有接触表面(KS)和与底座元件(G)的电极(EG)以一定距离(g)相对设置的电极(ES)。开关元件(S)具有弹簧常数，并以固定的方式使其边缘部分的至少一部分与底座元件(G)相连。接触表面(KG，KS)形成一开关接点，该开关接点可以借助于施加到电极(EG，ES)上的电压克服由该弹簧常数引起的反作用力而闭合。底座元件(G)和开关元件(S)均包括辅助电极(HG，HS)，其沿横向离开所述电极一定距离，对所述辅助电极(HG，HS)可以施加电压。为了断开开关接点，电极(EG，ES)具有第一电压电位(U1)，辅助电极(HG，HS)具有第二电压电位(U2)。所述电压电位实现正、负电荷载体在电极(EG，ES)和辅助电极(HG，HS)的表面部分上的积聚，使得具有正、负电荷载体的表面部分沿横向彼此相对，并具有相同电荷载体的表面部分沿垂直方向彼此相对。

摘要： 本发明采用柔性印刷电路板(10)，不仅用于电子元件(24)和导线(12)的安装支撑件，还用于一种机电变换器的机械支撑部件(22)并且用作整个微型系统的主体结构件。微型系统所需的所有部件(22，24，26)都可以机械安装在一块柔性印刷电路板(10)上，电路板最终要弹性变形到所需的最终形状。在最终形状下，利用柔性印刷电路板(10)的弹性对机电变换器微型系统中选定的部件(22)施加弹性力。

摘要： 一种微型机电式调制元件，包括：可弹性变位地被支撑且在双向变位的可动部(27)，且可动部(27)为具有调制功能的微型机电式调制元件(100)，其特征在于，包括多个向可动部(27)施加物理作用力的驱动源，在通过所述驱动源使可动部(27)在第1方向变位驱动时，在可动部(27)在上述第1方向迁移期间，借助于上述驱动源相对于可动部(27)在与上述第1方向不同的第2方向上施加可对可动部振动进行抑制的物理作用力。从而提供一种能够有效减少可动部振动的微型机电式调制元件和微型机电式调制元件阵列以及图像形成装置，且可以实现切换动作的高速化。

摘要： 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。

摘要： 用于通过MEMS微型阀控制传动系统的流体压力的系统，所述系统包括被配置为接收目标指令压力、当前系统指令压力输入信号和传动系统操作温度的传动控制器。功率确定模块根据控制器中接收的目标指令压力、当前系统指令压力输入信号、传动系统操作温度和控制器内的查找表来确定温度相关功率因数。功率信号模块通过温度相关功率因数调节当前系统指令压力输入信号，并经由控制器将调节后的当前系统指令压力输入信号施加到MEMS微型阀。

摘要： 一种微型开关，其包括：底座元件(G)，其具有接触表面(KG)和电极(EG)；以及开关元件(S)，其具有接触表面(KS)和与底座元件(G)的电极(EG)以一定距离(g)相对设置的电极(ES)。开关元件(S)具有弹簧常数，并以固定的方式使其边缘部分的至少一部分与底座元件(G)相连。接触表面(KG，KS)形成一开关接点，该开关接点可以借助于施加到电极(EG，ES)上的电压克服由该弹簧常数引起的反作用力而闭合。底座元件(G)和开关元件(S)均包括辅助电极(HG，HS)，其沿横向离开所述电极一定距离，对所述辅助电极(HG，HS)可以施加电压。为了断开开关接点，电极(EG，ES)具有第一电压电位(U1)，辅助电极(HG，HS)具有第二电压电位(U2)。所述电压电位实现正、负电荷载体在电极(EG，ES)和辅助电极(HG，HS)的表面部分上的积聚，使得具有正、负电荷载体的表面部分沿横向彼此相对，并具有相同电荷载体的表面部分沿垂直方向彼此相对。

摘要： 本发明公开微型机器人。微型机器人包括：旋转轴；主磁铁，固定结合在上述旋转轴；第一支撑主体，插入在上述旋转轴，可相对于上述旋转轴进行旋转；第一驱动磁铁，固定结合在上述第一支撑主体，具有大小与上述主磁铁不同的磁矩；以及多个第一腿部，与上述第一支撑主体的外周面相结合。

摘要： 本申请实施例提供了一种微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法。该微型机电系统开关包括：衬底；信号线，设置在衬底一侧；开关梁，位于信号线远离衬底的一侧，开关梁设有容置孔，容置孔在衬底上的正投影位于信号线在衬底上的正投影内；导电部，与信号线连接且位于信号线和开关梁之间，导电部在衬底上的正投影位于容置孔在衬底上的正投影内。本申请实施例能够有效提高关态电容与开态电容的电容比，从而提高微型机电系统开关的射频性能。