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基于FluidSIM的光刻机气动回路仿真分析

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用于加工芯片的光刻机,气动回路设计依据消障过后的X-D状态图,绘制了系统逻辑原理图.利用FluidSIM软件,按照动作顺序,搭建气动控制回路进行运行仿真.各气缸的仿真状态图显示,所有动作符合设计要求,达到了预期效果.

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来源
《现代制造技术与装备》 |2020年第6期|49-51|共3页
作者
李赫; 江海雷; 李晶;
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作者单位

吉林电子信息职业技术学院吉林 132021;

吉林石化公司吉林 132022;

吉林石化公司吉林 132022;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
FluidSIM; 气动回路; 仿真分析;

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