真空溅射镀膜机继电器-接触器控制系统的设计与研究

摘要

真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景.本文针对真空溅射镀膜机采用继电器-接触器的控制系统进行了设计与研究,对控制系统的工艺流程、要求、及控制过程进行了详细的分析和论述.本文对同类产品的设计与开发具有一定的指导作用,同时对一般的工业生产也具有较高的实用价值.