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STM探针电化学腐蚀装置的设计及实验研究

         
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摘要

本文根据扫描隧道显微镜(STM)振针电化学腐蚀方法的特点,在总结其它STM探针电化学腐蚀装置的基础上,自制了STM撂针电化学腐蚀装置.并用此装置进行探针制备的实验研究,摸索出了此装置制备高质量钨探针的较佳工艺条件,同时给出了所制探针的STM成像结果.

著录项

  • 来源
    《现代机械》 |2008年第5期|14-16|共3页
  • 作者

    潘金福; 黄旭; 王云; 丁召;

  • 作者单位

    贵州大学电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;

    贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州,贵阳,550025;

    贵州大学电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;

    贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州,贵阳,550025;

    贵州大学电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;

    贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州,贵阳,550025;

    贵州大学电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;

    贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州,贵阳,550025;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 显微镜;
  • 关键词

    扫描隧道; 显微镜(STM); 探针制备; 电化学腐蚀装置;

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