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用于MBE中的反射式高能电子衍射仪

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摘要

对用于分子束外延(MBE)中的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的工作原理以及RHEED衍射强度振荡在测量外延生长速率的应用进行了详尽的阐述;针对样品盘与RHEED系统的兼容问题,对样品盘进行了新的设计,并进行了实验研究.

著录项

来源
《现代机械》 |2009年第1期|57-58,61|共3页
作者
杨再荣; 潘金福; 周勋; 王基石; 宁江华; 丁召;
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作者单位

贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025;

贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025;

贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025;

贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025;

贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025;

贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州贵阳550025;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类成分分析仪器;
关键词
分子束外延; 反射式高能电子衍射; 工作原理; 样品盘; 强度振荡;

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