关于微弱电容传感信号读取电路技术的探讨

摘要

近几年微机电系统发展迅猛,微电容传感器的电容信号更加薄弱,其检测技术已经成为了电容式传感器发展和应用的瓶颈.因此,微弱电容传感信号读取电路技术成为了人们关注的焦点.本文主要对微弱电容传感信号的检测方法、基于TDC微弱电容传感信号读取电路技术设计的问题进行研究.