论MEMS传感器的应用与发展

摘要

MEMS传感器是采用徽电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器.它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高.适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点.从消费电子和移动通信,到计算机、医疗电子和工业控制,MEMS技术正在迅速征服每一个市场领城.