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应再生; 黄涛;
不详;
集成光学; 铌酸锂; 反应离子刻蚀;
机译:氩等离子体感应耦合等离子体反应离子刻蚀研究在光滑侧壁薄膜铌酸锂波导中的应用
机译:反应离子刻蚀制备的热可调铌酸锂长周期波导光栅滤波器
机译:基于绝缘锂 - 铌酸锂 - 铌酸锂 - 铌酸盐的绝热不对称耦合器的宽带2x2偏振分离器转子
机译:铌酸锂的拉曼散射和铌酸锂衬底上多晶硅的激光重结晶
机译:通过深度反应离子刻蚀朝着微创诊断的方向制造锋利的硅空心微针
机译:稀土掺杂铌酸锂中直接飞秒激光写入三维光子结构=掺杂铌酸锂离子激光写入掺杂铌酸锂离子的三维光子结构
机译:用氩(ar),四氟化碳(CF4)和六氟化硫(sF6)混合物反应离子刻蚀钛酸锶钡薄膜的研究
机译:制备铌酸锂薄膜的铌酸锂前驱体颗粒,其制备方法,制备铌酸锂薄膜的铌酸锂前驱体溶液和制备铌酸锂薄膜的方法
机译:通过深反应离子刻蚀制造微系统,包括例如:提供用于深反应离子刻蚀的刻蚀工具,进行包括刻蚀步骤的深离子刻蚀的多个重复处理间隔
机译:反应离子刻蚀装置及反应离子刻蚀方式
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