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SMA/Si复合膜微驱动器图案优化设计

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摘要

图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析.通过结构分析和温度场分析,圆形电阻条变宽的设计有助于进一步提高驱动膜的性能.仿真结果对于优化驱动膜的设计具有指导意义.

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来源
《微细加工技术》 |2001年第3期|18-21,73|共5页
作者
陈鉴; 程秀兰; 徐东; 王莉; 蔡炳初;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心;

上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心;

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上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构、器件;
关键词
微驱动器; 有限元分析; 形状记忆效应; 双金属效应; 优化设计;

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