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聚焦偏转复合系统像差分析及应用

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摘要

介绍了以DX-3扫描电镜为基础,利用SDS-2电子束扫描系统改装其偏转系统.并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴点源的三级几何像差系数和一级色差系数公式.应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.

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来源
《微细加工技术》 |2002年第4期|7-10|共4页
作者
尹明; 张玉林;
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作者单位

山东大学南区控制学院电子束室,济南,250061;

山东大学南区控制学院电子束室,济南,250061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
像差; 电子束; 偏转系统; 扫描电镜;

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