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PDMS微流控光纤芯片的研制

         

摘要

用集成在芯片上的光纤作为激发光源,可使激发光斑的大小与微流控沟道的深度尺寸相接近,提高了检测灵敏度,省去了光学聚焦系统.利用二次曝光的方法制作了PDMS光纤芯片,实现了光纤与沟道的对准.对PDMS光纤芯片的加工工艺、封装方法和结构特征进行了探讨.用所制作的芯片对FITC(异硫氰酸荧光素)和以FITC标记的氨基酸进行了检测,结果证明了该芯片的可行性.

著录项

  • 来源
    《微细加工技术》 |2005年第3期|57-61|共5页
  • 作者单位

    中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

    中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

    中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

    中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

    中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TN271;
  • 关键词

    聚二甲基硅氧烷(PDMS); 光纤; 芯片; 微流控沟道;

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